Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges

现行发布 2019 版本 1 16 页语言 EN ISO/TC 112

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16 页

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标准范围（官方英文摘要）

This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges.

This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when calibrating CDGs and using them as reference standards.

标准信息

标准号: ISO 20146:2019
英文标题: Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
发布单位: —
技术委员会: ISO/TC 112
版本 / 版次: 1
状态: 现行
发布日期: 2019
ICS 分类: 23.160 真空技术
页数: 16 页
官方定价: CHF 96

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